Horiba質量流量控制器SEC-N100系列優(yōu)點：

大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM

多種通訊方式及電源供給

特點介紹：

1、數(shù)字式/模擬式通信

RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

2、可與其它系列產(chǎn)品兼容

復合氣體/復合量程

可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程

3、高精度控制：±1.0%設定流量

選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass

4、快速響應：在可控流量范圍內(nèi)，響應時間≦1sec

內(nèi)置PID參數(shù)，可以調整響應時間

5、氣閥種類：

電磁閥(~50SLM)

壓電陶瓷閥(100/200SLM)

6、密封圈材質：橡膠或金屬

7、氣路表面：未經(jīng)拋光處理

8、接口：僅有VCR接口

9、RoHS要求：滿足RoHS要求

10、高精度：

±1.0% S.P.(*1)

1秒內(nèi)快速響應(*1)

多氣體，多量程解決方案

(*1)包括SEC-N17XR

11、多氣體，多量程的功能

可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。

Horiba質量流量控制器SEC-N100系列技術參數(shù)：