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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：SEC-Z517MGX
更新日期：2025-03-02簡要描述：horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGXIGS接口，EtherCat通訊小量程0-2sccm，大量程0-50SLM高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設(shè)定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。
大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，
我公司提供進口
SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，
保證全新進口，終身維修。
產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512
產(chǎn)品參數(shù)
規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。 訂購注意： 請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。 如是設(shè)備備件的更換，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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