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簡要描述:UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB控制壓力范圍10-500KPa, 數(shù)字通訊消除后端壓力變動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)
UR-Z732M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB
控制壓力范圍10-500KPa, 數(shù)字通訊
暢銷型號:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB是horiba UR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB是高性能自動壓力控制閥配備電子調節(jié)閥,
帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號控制壓力。
horiba UR-Z700根據(jù)通訊模式,選擇不同型號:
支持模擬輸出和RS485通訊:UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、
支持DeviceNet™ 通訊模式:UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB
產品性能:
· 分兩種應用:入口控制型(-M-B 型)和出口控制型
· 消除大流量氣路切換引起的串擾影響(出口控制型)
· 快速響應:0.5 秒內
· 靈活的設計:可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應系統(tǒng)
· 進氣壓力多種選擇:表壓、絕對壓力
· 符合 RoHS 標準(UR-Z714、UR-Z724、UR-Z734)
· 超潔凈:全金屬結構
horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB
參數(shù)表
產品背面圖
產品安裝孔圖
周邊產品
Horiba品牌介紹
HORIBA是全球著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。
暢銷型號
數(shù)字型質量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本數(shù)字型質量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模擬型質量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液體質量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液體質量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。
售后服務
Horiba有完善的售后服務。在上海嘉定有專門的售后服務部,全國各主要城市有售后工程師常駐,產品出現(xiàn)問題在12小時內相應。
配套的閥門管件:韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,
美國Valex不銹鋼管,1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。
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