UR-Z714M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714 IGS 14W3

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊， IGS接口

暢銷型號(hào)：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700中的一款，控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動(dòng)壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥，帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號(hào)控制壓力。

管路接口可選擇 IGS 14W3

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通訊模式。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714 IGS 14W3

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714 IGS 14W3

產(chǎn)品性能:

· 分兩種應(yīng)用：入口控制型（-M-B 型）和出口控制型

· 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）

· 快速響應(yīng)：0.5 秒內(nèi)

· 靈活的設(shè)計(jì)：可以安裝在任何位置，適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

· 進(jìn)氣壓力多種選擇：表壓、絕對(duì)壓力

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)（UR-Z704 系列）

· 超潔凈：全金屬結(jié)構(gòu)

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712

參數(shù)表

產(chǎn)品背面圖

產(chǎn)品安裝孔圖

周邊產(chǎn)品

Horiba品牌介紹

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

暢銷型號(hào)

數(shù)字型質(zhì)量流量控制器： SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、

低成本數(shù)字型質(zhì)量流量控制器：SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模擬型質(zhì)量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。

液體質(zhì)量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、

液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。